服務(wù)總機(jī):![]() |
傳真:![]() |
郵箱:![]() |
聯(lián)系地址:北京通州區(qū)八里橋南街16號(hào)京貿(mào)國(guó)際公寓D座102 |
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雙探頭表面三維形貌分析系統(tǒng)SKU: FM-DP-3D |
技術(shù)參數(shù):
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探頭A |
探頭B |
工作距離 |
11mm |
19mm |
量程 |
±190um |
±1700um |
最大傾角 |
±28° |
±21° |
光斑尺寸 |
10um |
20um |
分辨率 |
10nm |
40nm |
精度 |
±0.02%F.S. |
±0.02%F.S. |
最小厚度測(cè)量 |
12um |
66um |
最大厚度測(cè)量 |
511um |
5098um |
電動(dòng)臺(tái)參數(shù):
XY平臺(tái) |
驅(qū)動(dòng) |
直線磁軸電機(jī) |
平臺(tái)大小 |
220X230mm |
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XY方向行程 |
100X100mm |
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分辨率 |
0.05μm |
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重復(fù)定位精度 |
<1μm |
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最大允許負(fù)重 |
2Kg |
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掃描速度 |
≤80mm/s |
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掃描間距 |
≥0.5μm |
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電氣特性 |
控制器(專用電腦)額定輸入 |
100-240V AC 5.3A 50/60Hz |
驅(qū)動(dòng)器(專用機(jī)箱)額定輸入 |
48V DC 2.1A |
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傳感器輸入 |
24V DC 3A |